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激光干涉仪的最大测量长度是多少CM

发布时间:2019-09-17 15:22 来源:未知 编辑:admin

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  激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

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